光片掃描顯微鏡關于樣品具有一定的要求：
1、樣品要盡可能干燥，含有水分或其他易揮發物的試樣應先烘干除去；若樣品中含有水份，水分揮發會構成倉內真空度急劇下降，導致圖畫漂移，有白色條紋，甚至會影響燈絲壽數；
2、熱穩定性好，熱穩定性差的樣品往往在電子束的轟擊下分解，釋放氣體和其他物質，污染光片掃描顯微鏡；
3、導電性好，導電性差的樣品會發生荷電效應，構成圖畫畸變，亮點亮線，像散等；
4、不含強磁性，強磁性的樣品觀察一般會出現嚴重的像散，無法消去，磁性粉末如果粘的不結實還可能會吸附到探頭上，損害電鏡。（當然現在很多實驗室都可以做磁性樣品的光片掃描顯微鏡，比如鑠思百檢測可以做磁性樣品的SEM）。
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5、試樣(外表)導電的固體，試樣可以是塊狀或粉未狀。不導電的試樣，要先進行鍍膜處理，在材料外表構成一層導電膜。
關于塊狀導電材料，除了巨細要合適儀器樣品座尺度外，基本上不需要進行什么制備，用導電膠把試樣粘結在樣品座上，即可放在掃描電鏡中觀察。
關于塊狀的非導電或導電性較差的材料，要先進行鍍膜處理，在材料外表構成一層導電膜，以避免在電子束照射下發生電荷積累，影響圖畫質量，并可避免試樣的熱損傷。
6、試樣在高真空中能保持穩定，
7、外表遭到污染的試樣，要在不破壞試樣外表結構的前提下進行恰當清洗，然后烘干。新斷開的斷口或斷面，一般不需要進行處理，避免破壞斷口或斷面的結構狀態。
有些試樣的外表、斷口需要進行恰當的腐蝕，才干暴露某些結構細節，則在腐蝕后應將外表或斷口清洗潔凈，然后烘干。
8、試樣巨細要合適光片掃描顯微鏡專用樣品座的尺度，不能過大，樣品座尺度各儀器不均相同，一般小的樣品座為的0~35mm，大的樣品座為30~50mm，以分別用來放置不同巨細的試樣，樣品的高度也有一定的約束，一般小于10mm左右。
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